臺車爐是在半導(dǎo)體器材制造中運(yùn)用的一種加工處理設(shè)備，其包含加熱配件，接下來一起來看看小編的介紹：

　　熱處理用臺車爐結(jié)構(gòu)包括爐體、升降式爐門、臺車和運(yùn)行軌道，臺車前端設(shè)置有卡板，卡板與臺車形成“t”型結(jié)構(gòu)，卡板的后端面上設(shè)置有電源插頭和導(dǎo)向桿。

　　臺車的電氣鏈條滑動驅(qū)動裝置結(jié)合軌道裝置可以裝載沉重的負(fù)荷;采用鋼輪和齒桿驅(qū)動裝置的臺車無需在爐前敷設(shè)軌道;不同拓展成為臺車爐設(shè)備的方式：輔助臺車;采用駐車軌道的臺車驅(qū)動系統(tǒng)適用于更換車輛并且連接多個爐子;臺車和橫向移動裝置的電機(jī)驅(qū)動。

　　熱處理是針對不同的作用而規(guī)劃的。可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改動成長的薄膜的狀態(tài)，修正注入的損害，移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。