真空退火爐要注意安全操作，運行過程中要嚴格遵守安全技術(shù)操作規(guī)程，不能脫崗，要注意經(jīng)常檢查水源、儀器、真空度、電機、變壓器等是否在正常運行，如果發(fā)現(xiàn)有異常，要及時報告處理解決。

　　注意設(shè)備本身和設(shè)備運行中的安全，重視安全裝置的檢查和使用，操作員要檢查電路各控制開關(guān)是否能正常斷開閉合，電壓是否穩(wěn)定；員工著裝要整潔，上衣下擺不能敞開，不能穿拖鞋高跟鞋。

　　注意檢查各處螺釘處鏈接是否牢固，電控柜和主機的連接線有沒有松脫現(xiàn)象，接地是不是良好；電器的開關(guān)是不是在關(guān)的位置上；檢查水壓、是否正常，有沒有滴漏的現(xiàn)象；設(shè)備在中途停水時，要立即關(guān)閉擴散泵、粗抽泵等；設(shè)備中途停電的時候，要立即關(guān)閉總電源；擴散泵加熱時要避免身體接觸擴散以免會被燙傷。